Επικάλυψη στέρεης επιφάνειας με υμένα ρευστού : επίδραση της ρεολογίας του ρευστού και της μορφολογίας του υποστρώματος και πρόβλεψη δημιουργίας εγκλεισμάτων αέρα

Autor: Τσαμόπουλος, Ιωάννης, Pavlidis, Michael, Αικατερινάρης, Ιωάννης, Γογγολίδης, Ευάγγελος, Μαυραντζάς, Βλάσσιος, Μιτσούλης, Ευάγγελος, Μπουργανός, Βασίλειος, Πελεκάσης, Νικόλαος

Surface coating is widely used in microelectronic industry to produce thin films over surfaces with uneven topography. Such processes are used in fabricating integrated circuits, storage devices, such as magnetic disks, memory devices and optical dis

Externí odkaz: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od______1047::48dc6ba5f8ce28fa769ca99f5105e017
http://nemertes.lis.upatras.gr/jspui/handle/10889/2836