Zobrazeno 1 - 4
of 4
pro vyhledávání: '"Élisabeth Charlaix"'
Publikováno v:
Micro and Nano Engineering, Vol 1, Iss , Pp 33-36 (2018)
The removal of nanometric particles constitutes one of the main challenges for the Integrated Circuits manufacturing. A solution based on the polymer coating and removal without substrate consumption is described and its performances are evaluated. I
Externí odkaz:
https://doaj.org/article/7ceefc0ef8e342b48a02b3028a84d694
Publikováno v:
Physica A: Statistical Mechanics and its Applications. 157:514-519
We present theoretical and experimental evidences that show the frequency-dependent permeability κ(ω) for a porous medium is a scaling function with only two parameters; i.e. κ ( ω )/ κ 0 = κ ~( ω / ω c ), where κ 0 is the static permeabilit
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::27e87ff873219daee1f1a1b89c6de035
https://doi.org/10.1016/0378-4371(89)90353-1
https://doi.org/10.1016/0378-4371(89)90353-1
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.