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Autor:
Kazuyuki Ozaki
Publikováno v:
KOBUNSHI RONBUNSHU. 46:565-570
テトラメチルスズのプラズマ重合を, 高周波電力を変えてイオンシース中で行うと, 10-5から104S/cmという幅広い領域の導電率を有する薄膜が得られた. この導電率の変化は, 重合膜の外観が